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晶圓廠拚良率、機器人拚落地,上銀集團(2049)搶攻高附加價值模組

2026年01月09日(優分析/產業數據中心報導)⸺ EFEM(Equipment Front End Module,設備前端模組)是晶圓製造設備中負責「晶圓進出機台」的核心系統,主要由 Load Port(載具接口)、Wafer Handling Robot(晶圓搬運機器人)、Aligner(對位機構)及相關感測與控制系統所組成。其功能在於將晶圓從 FOUP 載具中精準、潔淨且高速地送入製程設備

優分析 Uanalyze 2026-01-09 09:30